技術情報
装置選定のためのエンジニアリングノート
実際の装置案件から得たチェックリスト、判断の枠組み、評価手法。後からその判断を説明しなければならないエンジニアのために書いています。
Si DRIE プロジェクト開始前に固めるべき 12 の入力条件
途中で停滞する DRIE プロジェクトには共通の根本原因があります。アプリケーションが最後まで定義されていないことです。まず固めるべき 12 の入力条件を挙げます。
記事を読む深掘りシリコンエッチングのデモで「成功」をどう定義するか
きれいな断面写真が 1 枚あっても、実証できることはごくわずかです。意味のある DRIE デモとはどういうものか、そして処理開始前に書面で合意すべき基準。
記事を読む縦型 vs 横型バッチ炉：酸化・拡散・LPCVD のための選定フレームワーク
バッチ式熱処理は、パワーデバイスやセンサーの工場を今も静かに支えています。縦型・横型の判断フレームワークと、最終的に決め手となる評価データ。
記事を読むPECVD 膜の仕様書の書き方：応力・水素・被覆性・熱バジェット
「SiN 1 µm」とだけ書かれた仕様書は、サプライヤーにほとんど何も伝えていません。PECVD 膜がデバイスで機能するかどうかを決める 5 つの性質と、その書き方。
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