Fachwissen
Engineering-Notizen für Anlagenentscheidungen
Checklisten, Entscheidungsrahmen und Bewertungsmethoden aus realen Anlagenprojekten — geschrieben für Ingenieure, die die Entscheidung hinterher verteidigen müssen.
Fachbeiträge erscheinen derzeit auf Englisch.
12 inputs to define before starting a Si DRIE project
Most DRIE projects that stall share one root cause: the application was never fully defined. Here are the twelve inputs to pin down first.
Beitrag lesenHow to define success for a deep silicon etch demo
A single beautiful cross-section photo proves very little. What a meaningful DRIE demo looks like, and the criteria to agree in writing before processing starts.
Beitrag lesenVertical vs horizontal batch furnaces: a selection framework for oxidation, diffusion and LPCVD
Batch thermal processing remains the quiet backbone of power and sensor fabs. A framework for the vertical-vs-horizontal decision, and the evaluation data that actually settles it.
Beitrag lesenSpecifying a PECVD film: stress, hydrogen, coverage and thermal budget
A film spec that says '1 µm of SiN' tells a supplier almost nothing. The five properties that decide whether a PECVD film works in your device — and how to state them.
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Eine Struktur, Schicht oder ein Thermoprozess zu besprechen?
Senden Sie eine kurze Beschreibung Ihrer Anwendung — Bauelementtyp, Material, Wafergröße und was ein gutes Ergebnis ausmacht. Ein Ingenieur antwortet mit einem konkreten nächsten Schritt.