事業内容
相互に支え合う3つの事業
装置が価値を生むのは、プロセス、据付、長期サポートがすべて揃ったときだけです。当社は単発の取引ではなく、この一連の流れ全体を前提に組み立てています。
プラズマプロセス装置
MEMS、パワー、化合物半導体の製造に向けた深掘りシリコンエッチング（DRIE）、反応性イオンエッチング、気相HF犠牲層リリース、PECVD 絶縁膜成膜プラットフォーム。
- 高アスペクト比シリコン構造
- 化合物半導体の低ダメージエッチング
- 低応力絶縁膜
熱処理
酸化、拡散、アニール、LPCVD、APCVD 向けのバッチ炉システム。パワーデバイス、センサー、特殊 CMOS プロセスフローの熱処理を支える基盤です。
- 縦型・横型バッチ炉
- 酸化、拡散、アニール
- LPCVD / APCVD 成膜
プロセス＆フィールドサービス
アプリケーション評価、デモとサンプルの調整、据付準備、そして長期のサービスと部品手配を、お客様の言語とタイムゾーンで提供します。
- アプリケーション評価と実現性検討
- デモの定義と調整
- 据付とライフサイクルサポート
対象のお客様
特殊半導体製造のために
すべての案件は製品カタログではなく、お客様のデバイスとプロセスウィンドウから始まります。
MEMS・センサー
慣性、音響、圧力、光学 MEMS 向けの深掘りシリコン構造、SOI デバイス、犠牲層リリース、低応力膜。
この分野を見る02SiC・GaN パワー
炭化ケイ素および窒化ガリウムパワーデバイス向けのトレンチエッチング、低ダメージプロセス、パッシベーション膜。
この分野を見る03RF・フォトニクス
フィルター、導波路、レーザー端面、集積フォトニクス向けの精密エッチングと絶縁膜成膜。
この分野を見る04先端パッケージ
2.5D/3D 実装とウェーハレベルパッケージ向けの TSV シリコンエッチングと低温絶縁膜成膜。
この分野を見る05R&D・パイロットライン
大学、研究機関、パイロット生産向けの柔軟な構成。ラボから量産へつながる道筋も確保します。
この分野を見る進め方
最初の質問からサポート付き装置まで、すべて可視化
高額な装置の判断には、後から検証できるプロセスが必要です。当社の進め方は6段階で、各段階でお客様の手元に成果物が残ります。
アプリケーション評価
構造、材料、ウェーハサイズ、受入基準から着手します。必要に応じて先に NDA を締結します。
メーカーとの実現性確認
ご要望を具体的なプラットフォームと構成の問いに変換し、メーカーのプロセスエンジニアが正確に回答します。
デモとサンプル評価
ウェーハを流す前に成功基準を書面で合意します。結果はお客様自身の基準で判断していただきます。
構成と契約条件
最終構成、ユーティリティ要件、必要書類、商談条件を並行して詰めます。プロジェクト終盤での想定外をなくします。
納入と据付
工場検収、輸送、現地準備、据付を文書化されたチェックリストに沿って調整します。
ライフサイクルサポート
検収後も、トレーニング、保守、部品、プロセスの相談に継続対応します。装置は納品ではなく、長い関係です。
RayFan を選ぶ理由
商社の窓口ではなく、エンジニアリングのパートナー
装置市場に仲介者は足りています。特殊デバイスの製造現場に足りないのは、プロセスの言葉が通じ、細部まで責任を持ち、請求書の後も残っている相手です。
アプリケーション優先
議論はエッチング形状、膜応力、スループットから始まります。価格表からではありません。合わないプラットフォームは、合わないと申し上げます。
窓口はひとつ、最後まで
仕様決定、デモの物流、書類、輸送、据付をひとつのチームが調整します。三社の供給元と一社の物流業者を、お客様が組み立てる必要はありません。
広域カバレッジ
新竹を拠点に、中国語と英語で中華圏および広くアジア太平洋地域をカバーします。
長期を前提に
当社の収益は稼働し続ける装置から生まれます。サービス、部品、プロセス支援は付随物ではなく、事業の中核です。
技術情報
装置選定のためのエンジニアリングノート
Si DRIE プロジェクト開始前に固めるべき 12 の入力条件
途中で停滞する DRIE プロジェクトには共通の根本原因があります。アプリケーションが最後まで定義されていないことです。まず固めるべき 12 の入力条件を挙げます。
記事を読む深掘りシリコンエッチングのデモで「成功」をどう定義するか
きれいな断面写真が 1 枚あっても、実証できることはごくわずかです。意味のある DRIE デモとはどういうものか、そして処理開始前に書面で合意すべき基準。
記事を読む縦型 vs 横型バッチ炉：酸化・拡散・LPCVD のための選定フレームワーク
バッチ式熱処理は、パワーデバイスやセンサーの工場を今も静かに支えています。縦型・横型の判断フレームワークと、最終的に決め手となる評価データ。
記事を読む
ご相談したい構造、成膜、熱処理工程はありますか
デバイスの種類、材料、ウェーハサイズ、そして「良い結果」とは何か——短い説明をお送りください。エンジニアが具体的な次の一手をご返信します。