应用领域
研发与中试线
科研平台过着另一种生活：用户多、材料杂、换型频繁——而某一天，某个工艺还必须转移到量产。为今天的灵活性和明天的可转移性做采购，是选型问题的核心。
反复出现的工艺挑战
一个腔体，多种使命
高校设备可能周一见硅、周五见铌酸锂。配置广度、沾污管理与配方纪律，比峰值产能重要得多。
分批到位的预算
经费按项目分批资助仪器。升级路径、模块兼容性与诚实的最小配置，决定长期价值。
实验室到量产的鸿沟
在灵活平台上开发的工艺，必须经得起向量产设备的转移。提前知道这条路径，保护的是多年的工作。
我们支持的典型工序
- 开放配置的 DRIE 与 RIE
- 多材料能力的科研型 PECVD
- 面向 MEMS 科研的气相 HF 释放
- 小批量热处理
- 中试线自动化选项
我们如何帮助
按真实用户群配置
我们把仪器映射到它实际会遇到的材料与课题——包括立项书里没写的那些。
保护升级路径
配置选择让下一笔经费扩展平台，而不是替换平台。
尽早规划转移
当科研工艺走向量产时，我们帮助定义接收方晶圆厂将需要哪些数据——在需要之前。
有需要讨论的结构、薄膜或热处理工序？
发一段简短的应用描述——器件类型、材料、晶圆尺寸，以及什么样的结果算好。工程师会给您一个具体的下一步。