Aplicaciones
Empaquetado avanzado
El empaquetado avanzado es un sistema de muchas familias de procesos — nosotros nos centramos en las etapas donde el grabado por plasma y la deposición deciden la viabilidad: vías a través de silicio (TSV), formación de cavidades y películas dieléctricas a baja temperatura.
Los desafíos de proceso recurrentes
Vías que se rellenan limpiamente
El grabado TSV se juzga por lo que viene después: el perfil, los festones y la forma del fondo determinan si el liner, la barrera y el relleno tienen éxito.
Apilamientos sensibles al calor
Con los dispositivos y la interconexión ya presentes, cada película posterior debe depositarse dentro de un presupuesto térmico estrecho — sin renunciar a densidad ni adherencia.
Un panorama competitivo y veloz
Los equipos de empaquetado enfrentan fuerte competencia local. Las plataformas importadas solo ganan su lugar en geometrías exigentes y repetibilidad demostrada.
Etapas de proceso típicas que apoyamos
- Grabado de silicio para TSV e interposers
- Formación de cavidades y pilares
- SiO₂ / SiN a baja temperatura por PECVD
- Apilamientos dieléctricos con tensión diseñada
- Obleas portadoras y reconstituidas
Cómo ayudamos
Apuntar a las geometrías difíciles
Nos involucramos donde la relación de aspecto, el perfil o la uniformidad superan lo que entregan las soluciones comunes — y somos honestos donde no.
Conectar el grabado con el relleno
Los criterios de demo se definen junto con los responsables del relleno y la fiabilidad aguas abajo, para que el resultado del grabado se juzgue por el resultado de integración.
Documentación resuelta pronto
Los proyectos de empaquetado avanzado suelen implicar a varias partes. Clasificación y documentos se resuelven al inicio, para que el calendario se sostenga.
Qué preparar para una primera conversación
- Esquema de integración (2.5D, 3D, WLP, interposer)
- Dimensiones de vía: diámetro, profundidad, paso
- Tipo de oblea: dispositivo, portadora, reconstituida
- Presupuesto térmico y requisitos de películas
- Proceso de relleno / galvanoplastia aguas abajo
- Volumen y calendario de calificación
¿Una estructura, película o etapa térmica que discutir?
Envíe una breve descripción de su aplicación — tipo de dispositivo, material, tamaño de oblea y qué significa un buen resultado. Un ingeniero responderá con un siguiente paso concreto.