Aplicaciones
RF y fotónica
En los dispositivos de RF y fotónica, la geometría es la función. La rugosidad de pared se convierte en pérdida óptica, el ángulo de faceta en eficiencia de acoplamiento y el espesor de película en frecuencia central. La evaluación de equipos debe medirse en las unidades de su dispositivo.
Los desafíos de proceso recurrentes
Rugosidad medida en nanómetros
Las paredes de guías de onda y resonadores exigen perfiles lisos y verticales, en materiales desde silicio y SiN hasta niobato de litio y apilamientos III-V.
Apilamientos de materiales exóticos
Piezoeléctricos, epitaxias III-V y dieléctricos ópticos traen cada uno su propia química, selectividad y restricciones de daño.
Películas de calidad óptica
El control de índice, la absorción y la tensión de los dieléctricos depositados deciden el rendimiento del dispositivo tanto como cualquier litografía.
Etapas de proceso típicas que apoyamos
- RIE de precisión para dieléctricos y compuestos
- Grabado profundo de silicio para bancos ópticos y microespejos MEMS
- SiO₂ / SiN de calidad óptica por PECVD
- Grabado de facetas y mesas para láseres III-V
- Oxidación térmica y recocido
Cómo ayudamos
Hablar las unidades de su dispositivo
Evaluaciones enmarcadas en pérdida de inserción, factor Q y pérdida de propagación — con las métricas de proceso mapeadas explícitamente a ellas.
Estructurar proyectos multimaterial
Cuando un dispositivo cruza tres sistemas de materiales, ayudamos a ordenar las preguntas de equipo para que cada una pueda responderse limpiamente.
Conectar investigación y producción
Muchos equipos de fotónica están escalando desde procesos de laboratorio. Ayudamos a definir qué cambia — y qué no debe cambiar — en el camino a una plataforma de producción.
Qué preparar para una primera conversación
- Tipo de dispositivo y longitud de onda / banda de frecuencia
- Apilamiento de materiales y sustrato, tamaño de oblea
- Geometría crítica: CD, profundidad, especificación de pared
- Criterios de pérdida, rugosidad o daño
- Plataforma actual y su limitación
- Etapa: investigación, piloto o producción
¿Una estructura, película o etapa térmica que discutir?
Envíe una breve descripción de su aplicación — tipo de dispositivo, material, tamaño de oblea y qué significa un buen resultado. Un ingeniero responderá con un siguiente paso concreto.